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新聞活動

詳解四探針測試儀原理和組成返回列表

多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率 方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB T1551-2009《硅單晶電阻率測定方法

多功能數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合GB/T1551-2009《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國A.S.T.M標準。

儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。

主機主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機系統組成。儀器所有參數設定、功能轉換全部采用數字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;電壓電流全自動轉換量程;測試結果由數字表頭直接顯示。本測試儀特贈設測試結果分類功能,zui大分類10類。

探頭選配:根據不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配專用探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。

測試臺選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺,也可選配SZT-D型測試臺以測試半導體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點與選型參考》

儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、智能化程度高、結構緊湊、使用簡便等特點。

儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。

基本技術參數

1.測量范圍、分辨率(括號內為可向下拓展1個數量級)

電阻:10.0×10-6~200.0×103Ω,分辨率1.0×10-6~0.1×103Ω

(1.0×10-6~20.00×103Ω,分辨率0.1×10-6~0.01×103Ω)

電阻率:10.0×10-6~200.0×103Ω-cm分辨率1.0×10-6~0.1×103Ω-cm

(1.0×10-6~20.00×103Ω-cm分辨率0.1×10-6~0.01×103Ω-cm)

方塊電阻:50.0×10-6~1.0×106Ω/□分辨率5.0×10-6~0.5×103Ω/□

(5.0×10-6~100.0×103Ω/□分辨率0.5×10-6~0.1×103Ω/□)

2.材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)

直徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式Φ15~130mm,手持方式不限

SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.

長(高)度:測試臺直接測試方式H≤100mm,手持方式不限.

測量方位:軸向、徑向均可

3.量程劃分及誤差等級

滿度顯示

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

200.0

20.00

2.000

常規量程

kΩ-cm/□

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

---

       

zui大拓展量程

---

kΩ-cm/□

Ω-cm/□

mΩ-cm/□

mΩ-cm/□

       

基本誤差

±2%FSB

±4LSB

±1.5%FSB

±4LSB

±0.5%FSB±2LSB

±0.5%FSB

±4LSB

±1.0%FSB

±4LSB

       

4.工作電源:220V±10%,f=50Hz±4%,PW≤5W

5.外形尺寸:245mm(長)×220mm(寬)×95mm(高)

凈重:≤1.5~2.0kg

查看更多探針臺系統

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