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案例

英鉑科學助力三星半導體搭建6寸晶圓級電學測試系統返回列表

裝機產品:YB600-A

產品介紹:

YB600-A是150mm手動探針臺系統,可以提供準確可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)測量。

產品優勢:

1、單機多應用設計

•適用于多種晶圓/集成電路/功率器件/光學材料量測應用,如射頻和 DC、IV/CV 測試晶圓級可靠性

2、具備工效學設計

•XY 軸微調設計/Y 軸快速導入導出/載物臺設計

•堅固且可乘載多達 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作臺

•兩段式工作臺快升把手設計,接觸(contact) - 分離(loading),實現高可靠性、高效率性

•具備英鉑科學儀器獨有專利技術的氣浮式移動樣品臺,搭配微調千分尺

3、彈性選配與升級性

•另有多種晶圓載物臺可做升級,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光學顯微鏡、電磁屏蔽箱/防震系統可搭載,以完全支援您的應用需求

4、高壓人機安全防護設計

•Platen 底部特征聚合物高壓防護設計

•Chuck 獨特安全隔離防護設計

•采用德國 PEEK 雙層高壓防護環套設計的針桿(標準 SHV Coaxial 接口)通用

•keithley&keysight 高壓儀表,紅外感測 interlock 安全互鎖機制

更多案例

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