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案例

英鉑攜MPI助力太原實驗室搭建半自動高低溫低噪聲測試系統返回列表

裝機產品:TS2000-SE、TS200-SE

TS2000-SE

產品介紹:

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統,其包含獨特的側面自動裝卸功能和超高屏蔽下的超低噪聲環境。

特色功能:

MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺發布新功能,側面帶有VCE,可完美解放您的雙手,實現精準定位,完成自動扎針,使測試過程更加方便快捷。

產品概要:

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境

2、自動化晶圓裝載系統

該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓,針對高低溫環境下可提高測試效率

3、ERS獨特的 AC3冷卻技術

MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment,可大幅減少30%至50%的空氣消耗

4、側視影像系統(VCE)

借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全

產品優勢:

1、模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探針卡 / 節間探測

4、可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

5、高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

7、支持飛安級低漏電值量測

8、支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE

產品介紹:

MPI TS200-SE手動探針測試系統具有很強的功能,具有高度可重復性(1µm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300µm)和加載(3mm)的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置,附加的Probe Hover Control™具有懸停高度(50、100或150 µm),可輕松方便地將探頭與Chuck對齊。

產品概要:

MPI TS200-ShielDEnvironment™(TS200-SE)8英寸探針臺可提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽,超低噪聲,低泄漏測量功能。

1、適用于多種晶圓量測應用,如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)

2、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境,專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

3、支援飛安級低漏電量量測

4、溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

產品優勢:

1、ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的屏蔽系統,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

2、ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™的一個完全可配置的部分,它允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種組合測試;

3、空氣軸承

MPI獨特的氣墊載物臺設計,具有簡單的單手冰球控制,為快速的XY導航和晶圓裝載提供了操作的便利性

4、多種卡盤選項

TS200-SE可提供多種卡盤選件, 以滿足不同的預算和應用要求:同軸,三軸或射頻、高功率等

5、溫度控制集成

晶圓裝載門可以在15°C以下的任何溫度下鎖定

6、ERS獨特的AC3冷卻技術,可減少多達30%至50%的干燥空氣消耗

更多案例

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